- 名稱:NanoCalc薄膜反射光譜儀系統
- 型號:NanoCalc
- 品牌:Ocean Optics
- 描述:薄膜的光學特性主要有反射和干涉.NanoCalc薄膜反射測量系統可以用來進行10nm~250μm的膜厚分析測量,對單層...
NanoCalc 薄膜反射測量系統
薄膜的光學特性主要有反射和干涉.NanoCalc薄膜反射測量系統可以用來進行10nm~250μm的膜厚分析測量,對單層膜的分辨率為0.1nm。根據測量軟件的不同,可以分析單層或多層膜厚。
常用的兩種測量薄膜的特性的方法為光學反射和投射測量、橢圓光度法測量。NanoCalc利用反射原理進行膜厚測量。
技術參數
入射角 |
90° |
層數 |
3層以下 |
需要進行參考值測量 |
是 |
透明材料 |
是 |
傳輸模式 |
是 |
粗糙材料 |
是 |
測量速度 |
100ms - 1s |
在線監測 |
可以 |
公差(高度) |
參考值測量或準直(74-UV) |
公差(角度) |
參考值測量 |
微黑子選項 |
配顯微鏡 |
顯示選項 |
配顯微鏡 |
定位選項 |
6"和12" XYZ 定位臺 |
真空 |
可以 |