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      NanoCalc薄膜反射光譜儀系統
      • 名稱:NanoCalc薄膜反射光譜儀系統
      • 型號:NanoCalc
      • 品牌:Ocean Optics
      • 描述:薄膜的光學特性主要有反射和干涉.NanoCalc薄膜反射測量系統可以用來進行10nm~250μm的膜厚分析測量,對單層...
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      產品概述
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      NanoCalc 薄膜反射測量系統

            薄膜的光學特性主要有反射和干涉.NanoCalc薄膜反射測量系統可以用來進行10nm~250μm的膜厚分析測量,對單層膜的分辨率為0.1nm。根據測量軟件的不同,可以分析單層或多層膜厚。

           常用的兩種測量薄膜的特性的方法為光學反射和投射測量、橢圓光度法測量。NanoCalc利用反射原理進行膜厚測量。


      技術參數

      入射角

      90°

      層數

      3層以下

      需要進行參考值測量

      透明材料

      傳輸模式

      粗糙材料

      測量速度

      100ms - 1s

      在線監測

      可以

      公差(高度)

      參考值測量或準直(74-UV)

      公差(角度)

      參考值測量

      微黑子選項

      配顯微鏡

      顯示選項

      配顯微鏡

      定位選項

      6"和12" XYZ 定位臺

      真空

      可以

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